真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復雜。
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。
蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。